Хімічний метод дезактивації полягає у хімічній взаємодії радіоактивного забруднення з дезактивуючими розчинами. При цьому радіоактивні речовини розрихлюються і змиваються. До складу дезактивуючих розчинів додають щавлеву, азотну, лимонну і сірчану кислоти, перманганат калію, трилон Б, погерхнево-активні речовини тощо.
Ефективність дезактивації хімічним методом залежить від температури дезактивуючого розчину, швидкості його циркуляції, конструктивних особливостей поверхні, що її дезактивують, та ін.